高分辨率电镜成像设备
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双束聚焦离子束-扫描电镜 (FIB)
设备:ThermoFisher Helios 5 CX Duel Beam
离子源:镓离子 (Ga)
电子束:场发射
可沉积气体:铂 Pt / 钨 W
伸缩式背散射探头:ABS / CBS
伸缩式STEM探头
装配有EDS
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三维原子探针 (APT)
设备:Cameca Leap 5000
局部电极技术
三维立体定量成分表征及分析
拥有纳米级别分辨率
灵敏度达到百万分比级别
可选择电压脉冲模式或者电压和激光组合脉冲模式,提高检测灵敏度
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透射电子显微镜 (TEM)
设备:ThermoFisher Talos F200X
透射电镜测量
透射成像表征及分析
三维EDS断层分析
原子尺度EDS成分分析
EELS
原位测试