双束聚焦离子束-扫描电镜

主要特点。

• 使用新型高通量 Tomahawk HT 离子镜筒，可制备较高质量、位点特异性 TEM 和 APT 样品。

• 可通过多达 6 个集成在镜筒内和透镜下的集成检测器获得具有清晰、精确且无电荷的对比度的较完整样品信息。

• 使用可选的 Auto Slice & View 4 (AS&V4) 软件，可提供较高质量、多模态亚表面和 3D 信息，较精确地瞄准目标区域。

• 对复杂结构进行快速、准确、精确的铣削和沉积，临界尺寸小于 10 nm。

• 具有高度灵活的 110 mm 载物台、多用途样品支架和 Nav-Cam+，可轻松处理和导航样品。

• 基于集成样品清洁管理和专用成像模式（如 DCFI 和 SmartScan 模式）的无伪影成像。

电子束：

• Elstar超高分辨率场发射电子镜筒

• 分辨率：≤ 0.6 nm @ 15 kV；≤ 1.0 nm @ 1 kV

• 电子束流范围：0.8 pA to 176 nA

• 加速电压范围：200 V – 30 kV

离子束：

• 离子源：镓离子 (Ga)

• 分辨率：≤ 4.0 nm @ 30 kV，≤ 2.5 nm @ 30 kV

• 离子束流范围：1 pA – 100 nA

• 加速电压范围：500 V – 30 kV

GIS系统：

• 铂 (Pt) / 钨 (W)

装配探头：

• 二次电子 / 背散射

• EDS: Oxford UltimMax 65

• STEM

EasyLift 纳米机械手