透射电子显微镜

高分辨率场发射电子枪。

方便操作的软件。

快速检测化学成分。

更好的图像数据。

高质量(S)TEM图像和准确的EDS。

高度可重复性的数据收集。

提高效率。

加工控制 - TEM是各种材料科学应用里监控主要加工步骤的生产过程检测仪器。

质量控制 - 通过高分辨率电镜和光谱分析仪器进行失效分析和质量控制。

基础材料研究 - 材料科学研究可使用电子显微镜，在微纳米尺度发展新型材料。

半导体线路设计和发展 - 电镜是可以快速设计和生产的半导体分析和表征设备。

半导体量测和产量分析 - 快速、高分辨率的三维表征，以最快速度产出。

半导体失效分析 - 为半导体器件进行失效分析和缺陷定位，以便获得更高的产出和更短的数据获取时间。

半导体器件表征 - 图像拍摄，分析及表征。